計量技術(shù)中對工件加工面粗糙度的微觀幾何形狀特性的測量。比較常用的測量方法有比較法、觸針法、光切法和干涉法等。
1. 比較法將表面粗糙度比較樣塊根據(jù)視覺和觸覺與被測表面比較,判斷被測表面粗糙度相當(dāng)于那一數(shù)值,或測量其反射光強變化來評定表面粗糙度 ( 見激光測長技術(shù) ) 。樣塊是一套具有平面或圓柱表面的金屬塊,表面經(jīng)磨、車、鏜、銑、刨等切削加工,電鑄或其他鑄造工藝等加工而具有不同的表面粗糙度。有時可直接從工件中選出樣品經(jīng)過測量并評定合格后作為樣塊。利用樣塊根據(jù)視覺和觸覺評定表面粗糙度的方法雖然簡便,但會受到主觀因素影響,不能得出準確的表面數(shù)值。
2. 觸針法利用針尖曲率半徑為 2 微米左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行,金剛石觸針的上下位移量由電學(xué)式長度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號,經(jīng)放大、濾波、計算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數(shù)值,也可以用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數(shù)值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀,同時能記錄表面輪廓曲線的稱為輪廓儀,這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機,它能自動計算出輪廓算術(shù)平均偏差 Rα ,微觀不平度十點高度 RZ ,輪廓_高度 Ry 和其他多種評定參數(shù),測量效率高,適用于測量 Rα 為 0.025 ~ 6.3 微米的表面粗糙度。
3. 光切法光線通過狹縫后形成的光帶投射到被測表面上,以它與被測表面的交線所形成的輪廓曲線來測量表面粗糙度。由光源射出的光經(jīng)聚光鏡、狹縫、物鏡 1 后,以 45° 的傾斜角將狹縫投影到被測表面,形成被測表面的截面輪廓圖形,然后通過物鏡 2 將此圖形放大后投射到分劃板上。利用測微目鏡和讀數(shù)鼓輪先讀出 h 值,計算后得到 H 值。應(yīng)用此法的表面粗糙度測量工具稱為光切顯微鏡。它適用于測量 RZ 和 Ry 為 0.8 ~ 100 微米的表面粗糙度,需要人工取點,測量效率比較低。
4. 干涉法利用光波干涉原理 ( 見平晶、激光測長技術(shù) ) 將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來,并利用放大倍數(shù)高(可達 500 倍)的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量,以得出被測表面粗糙度。應(yīng)用此法的表面粗糙度測量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用于測量 Rz 和 Ry 為 0.025 ~ 0.8 微米的表面粗糙度冀公網(wǎng)安備 13098102000570號
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